氦質(zhì)譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
氦質(zhì)譜檢漏儀的特點：
1、質(zhì)譜檢測儀的測量精度高，漏失量可以檢測到0.1ppm，檢測靈敏度高；
2、可測量各種有毒、無毒、稀有氣體，如氦氣、氫氣和氬氣等；
3、質(zhì)譜檢測儀的檢測效率高，可以在短時間內(nèi)完成檢測；
4、質(zhì)譜檢測儀的檢測成本低，檢測費用低廉，可以實現(xiàn)高效檢測；
5、質(zhì)譜檢測儀的檢測環(huán)境要求低，能夠在常溫常壓下進行檢測；
6、質(zhì)譜檢測儀的操作簡單，一般人都能夠掌握操作方法，而且操作方便快捷；
7、質(zhì)譜檢測儀的維修保養(yǎng)簡單，只需要定期更換部件，就可以保持其良好的檢測性能。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
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