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      瑞士inficon電容式膜片真空計的優點與應用
      
    
      更新時間：2016-09-26      點擊次數：1934
      
    
      
    	 瑞士inficon電容式膜片真空計的優點與應用
       
      擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
      易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
      輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
      診斷端口用于快速維修和維護
      兩年保修服務，加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
      的信號穩定性和可重復性，即使是zui苛刻的等離子應用，都無需長期執行重新校準
      合規性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
       
      典型應用
      用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
      化學和腐蝕性高溫過程
      需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
      
    
      
    
      
    	
    
      

      




      
	
      
		
		
        
      
        	
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