MKS公司eliteTM 射頻電源用途及特點

eliteTM 等離子電源應(yīng)用：等離子蝕刻、化學(xué)氣相沉積和噴鍍應(yīng)用的穩(wěn)定耐用性射頻電源。憑借的功率控制和數(shù)字化接口，eliteTM 電源有著現(xiàn)在等離子工藝所要求的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

eliteTM 等離子電源特點：在13.56MHz工作頻率上，eliteTM 平臺由基于50Ω負(fù)載的300W，600W及750W產(chǎn)品組成。數(shù)字控制模塊自動量測射頻輸出功率和發(fā)射功率，確保功率輸出在1至300,600或760瓦時，有穩(wěn)定實際功率輸出，其偏差在設(shè)定值的±2%內(nèi)。可輸出高達(dá)1kHz脈沖射頻，工作比范圍為1至99%

的功率校準(zhǔn)按照基于NIST的ENI 電源標(biāo)準(zhǔn)完成的。低諧波畸變和無虛假性能強化了該單元的射頻功率輸出控制和的射頻穩(wěn)定性。一個堅固耐用的射頻電源可以保證輸出到固定匹配器的實際功率。數(shù)字控制可以不間斷的偵測內(nèi)部子系統(tǒng)的狀態(tài)來實現(xiàn)系統(tǒng)的效益。