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技術(shù)文章
INFICON公司有CDG電容膜片真空計、BPG400／BPG402-S B-A型皮拉尼真空計、HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計、BCG450 B-A型皮拉尼電容膜片真空計、PSG500／PSG512-S皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計、PCG550／554皮拉尼電容膜片真空計、PEG100潘寧真空計、MPG400／401反磁控皮拉尼真空計和VGC401／403真空計控制器。如何來選擇呢？以下我們做具體的說明：
一，皮拉尼真空計
1. 皮拉尼真空計原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化,熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2. 衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）
2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）
3. 氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):
1，氣體類型
2，壓力大小
4. 皮拉尼真空計測量范圍與精度
測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5 x 10-4至 1000 mbar
精度（氮氣）: 1x 10-3… 100毫巴 ± 15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ± 50% gbg
100 ... 1000毫巴 ± 50%
5. 皮拉尼真空計的優(yōu)特點
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以zui大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命
6. 皮拉尼真空計具體型號
PSG050/051
PSG100-S PSG101-S
PSG500/PSG500-S PSG502
皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計PCG400 PCG410 PCG550
1. 有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
2. 兩種原理的規(guī)管全過程都工作
3. 100 mbar--1000 mbar 使用薄膜
4. 1 mbar--100mbar 兩規(guī)信號同時采用
5. 5x10-4mbar--1 mbar 采用皮拉尼信號
6. 輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍
7. 皮拉尼真空計應(yīng)用行業(yè)
各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
各種中低真空測量，如照明，冶金
真空連鎖控制，高真空計的點火開關(guān)控制，如PEG100
PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216
PCG400 PCG410（現(xiàn)在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500 基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉 尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用
PSG100 PSG101，與PSG500/P SG050 基本相同，但因為具有通訊協(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛
二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045D/100/160/200
1. 電容薄膜規(guī)工作原理
壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
2. 電容薄膜規(guī)特點
以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成
在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量
快速的預(yù)熱和恢復(fù)時間,提高生產(chǎn)率
的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性
由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性
對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定
快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入 準(zhǔn)備使用狀態(tài)
一鍵按鈕: 調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整
抗腐蝕超純陶瓷傳感器
能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓 沖擊,無任何降低性能的跡象
暴露大氣壓后快速恢復(fù),無需隔離閥
對蒸氣介質(zhì)不敏感
傳感器屏蔽 （）延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命
3. INFICON陶瓷技術(shù)
陶瓷技術(shù)的*性
1， 無 “記憶” 效應(yīng)
2， 陶瓷無疲勞問題
3， 的溫度補(bǔ)償
4， 的零點穩(wěn)定性
低使用成本
1， 非凡的使用壽命
2， 無需隔離閥
4. Sky CDG025D測量范圍 大氣到100mtorr
5. 加熱型薄膜規(guī) CDG045D，CDG100D，CDG160D，CDG200D
6. 加熱型優(yōu)點
零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
更高的精度
環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無影響
比工藝更快的預(yù)熱啟動時間’
快速恢復(fù)時間 大氣壓 < 1 min within 5mV
任意安裝角度
抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
7. 電容薄膜規(guī)的應(yīng)用
要求高的應(yīng)用條件下，而快速的壓強(qiáng)測量
用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計用的是1179BX2 3CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，國內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。
資料貯存和顯示器制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
常用高精度真空測量
三，熱電離規(guī)
1. 熱電離規(guī)原理
Richardson 效應(yīng): 高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
3. 熱電離型復(fù)合規(guī)
HPG400
BPG400/-SP/-SD/SR
BPG402
BCG450 B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號復(fù)合在一起
4. 優(yōu)點及應(yīng)用
BPG
? 測量范圍寬，一個規(guī)管覆蓋13個量程5x10-10–1000 mbar
? 精度高，*的重復(fù)性5%
? 燈絲材料鍍釔的銥絲有*的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會因突然暴露大氣而燒毀。
? 方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié)
? 注意事項：
? 1、對氣體有選擇性
? 2、抗污染能力弱
? 普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測量
? 在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛
BPG402
? 雙燈絲，大大延長使用壽命
? 電離規(guī)的工作可以自定義控制
? 探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性
HPG400
? 電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合
? 皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī)
? 電離規(guī)的工作啟動點可以一定范圍內(nèi)自定義
? 簡易的校準(zhǔn)功能
? 相對便宜的價格
BCG450
? 可調(diào)的電離規(guī)工作起點
? 的重復(fù)性
? 的大氣端測量
四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）
1. 冷電離規(guī)原理
通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離
2. 潘寧規(guī)特點與應(yīng)用
測量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
全金屬密封
無燈絲
易清洗
應(yīng)用于普通的高真空測量
3. 冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點與應(yīng)用
冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合
測量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar
易于保養(yǎng)清洗
無高真空燈絲，
應(yīng)用于普通高真空測量
五、真空計控制器的型號分別為：VGC401、VGC402、VGC403。分別表示一路、二路、三路；看您一個真空計控制器配幾個真空計來選。INFICON的通信電纜有網(wǎng)線的和15針角的，選擇時一定要注意。
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